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減薄砂輪

減薄砂輪目前在電子行業(yè)的LED芯片、集成電路硅片等領域有廣泛應用,主要應用于半導體晶圓的減薄與研磨加工。加工對象包括:分立器件,集成電路襯底硅片、藍寶石外延片,硅晶圓,砷化鎵,GaN晶片,硅基芯片等。其應用工序主要有:背面減薄,正面磨削的粗磨加工和精研加工。我公司減薄砂輪規(guī)格a).規(guī)格:直徑200mm/250mm/265mm/280mm/300mm/380mm等,并可以根據(jù)客戶需求設計、制作各種單

編號:

減薄砂輪目前在電子行業(yè)的LED芯片、集成電路硅片等領域有廣泛應用,主要應用于半導體晶圓的減薄與研磨加工。

加工對象包括:分立器件,集成電路襯底硅片、藍寶石外延片,硅晶圓,砷化鎵,GaN晶片,硅基芯片等。其應用工序主要有:背面減薄,正面磨削的粗磨加工和精研加工。

我公司減薄砂輪規(guī)格

a). 規(guī)格: 直徑200mm/250mm/265mm/280mm/300mm/380mm等,并可以根據(jù)客戶需求設計、制作各種單環(huán)、多環(huán)、斜齒減薄砂輪。

b) 粒度: 230/270,270/325,400/500,600/700;

c). 端面跳動: ≤0.04mm

d). 外圓跳動: ≤0.05mm

e). 動平衡標準: G1

我司生產(chǎn)的研磨砂輪加工效率高、研磨劃痕淺,研磨損傷層薄,加工質量優(yōu),使用壽命長,可降低研磨工序成本,目前已在多家客戶處替代進口產(chǎn)品。

客戶實際使用數(shù)據(jù):

1.配套于NTS研磨機的LN-297D系列砂輪單片可磨削2英寸襯底片18000片左右,4英寸襯底片5000片左右;

2.配套于GALAXY(凱勒斯)研磨機的LG-255D系列砂輪單片可磨削4英寸襯底片2000片左右;

3.配套于SPEEDFAM(創(chuàng)技)研磨機的LS-304D系列砂輪單片可磨削4英寸襯底片5000片左右。

韓國NTS、日本SHUWA,日本DISCO、臺灣WEC、美國ENGIS等。

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